VDE Kongress 2006, Fachtagungen der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

Mikro- und Nanoelektronik wachsen zusammen

Die Mikroelektronik ist seit jeher ein Vorreiter der Miniaturisierung. Die Strukturbreiten auf den Chips bewegen sich bereits im Nanobereich. Bisher folgte diese Entwicklung der Top-down-Strategie, von größeren Strukturen zu immer kleineren zu gelangen. Dank der Nanotechnologie entsteht aber jetzt auch "Bewegung von unten", d.h. es gibt neue Möglichkeiten, auf der atomaren und molekularen Ebene zu agieren, die Selbstorganisation zu nutzen und dabei dem Bottom-up-Ansatz zu folgen. Welche grundsätzlichen Chancen und Potenziale in diesem spannenden Moment liegen, in dem beide Konzepte sozusagen aufeinander treffen, wird ein Hauptthema der Fachtagungen der Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) im VDE/VDI im Rahmen des VDE-Kongresses 2006 "Innovations for Europe" in Aachen sein. Derzeit verfolgt die Industrie beide Wege gleichberechtigt nebeneinander, wobei die quantenphysikalischen Effekte in der Nanowelt auch immer noch Gegenstand der Grundlagenforschung sind. Eine große Rolle spielen Fragestellungen nach den richtigen Materialien. So werden bereits Versuche unternommen, Nanoröhren (Nanotubes) als Mittel zur Durchkontaktierung einzusetzen. Sie könnten für spezielle Anwendungen bei hohen Stromdichten ein schnelles Schalten ermöglichen. Intel z.B. hat entsprechende Schalter bereits als Labormuster hergestellt.

Auf der anderen Seite bleibt auch der andere Weg offen, also die Top-down-Variante. Die Hauptströmung ist derzeit der Einsatz von extrem kurzwelligem UV-Licht zur Strukturerzeugung. "Der Weg bleibt aus meiner Sicht evolutionär, das heißt, wir werden Licht noch lange als entscheidende Strahlenquelle verwenden", betont Prof. Peter Jung, VDE-Mikroelektronikexperte von der Universität Duisburg-Essen. Noch härtere Strahlung wird offenbar erst deutlich später zum Einsatz kommen als teilweise zwischenzeitlich gedacht. Ein weiteres großes Thema für die Zukunft dürfte die Interaktion von Mikroelektronik mit biologischen Systemen werden. Gerade Sensoren werden von der Natur zumeist nicht als rein anorganische "Bauteile" realisiert. Diese Hybridtechnologie ließe sich für dielektrische, ferroelektrische und für biologische Sensoren nutzen.

Der VDE Kongress in Aachen findet unter dem Motto "Innovations for Europe" vom 23. bis zum 25. Oktober 2006 statt. Erwartet werden 1.500 Teilnehmer aus dem In- und Ausland. Auf dem umfangreichen Veranstaltungsprogramm stehen Fachtagungen zur Informations-, Mikro- und Nano-, Energie-, Automations- und Medizintechnik.