Die Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz
Der Chemnitzer Institutsteil des Fraunhofer-Instituts für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM wird ab dem 1. Juli 2008 eine selbständige Fraunhofer-Einrichtung. Leiter der Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS ist Prof. Dr. Thomas Geßner.
"Wir werden unsere bestehenden Arbeitsgebiete fortführen: Mikro- und Nanosysteme, Zuverlässigkeit und die Smart Systems Integration - beispielsweise Labels, die Erschütterung, Neigung und Temperatur überwachen. Weitere Arbeitsgebiete sind das Back End of Line für die Mikro- und Nanoelektronik und die 3D-Integration, also das gesamte Leitbahn- und Kontaktsystem von Siliziumwafern. Wie der Name 'Elektronische Nanosysteme' schon sagt, berücksichtigen wir dabei insbesondere die Aspekte der Nanowelt", betont Prof. Geßner. "Darüber hinaus halten wir bestehende Kooperation aufrecht und nehmen neue in Angriff." Prof. Geßner leitet ebenfalls das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz. Kooperationen bestehen unter anderem mit Abteilungen des IZM sowie der sächsischen Industrie, aber auch mit weiteren Forschungseinrichtungen und Industriepartnern im In- und Ausland. Die ENAS ist in sächsische, deutsche, europäische und weltweite Netzwerke mit Großunternehmen und kleinen und mittelständischen Unternehmen eingebunden.
Eine Herausforderung, der sich die Wissenschaftler am ENAS stellen, ist die Verdrahtung von Milliarden von Transistoren in einem integrierten Schaltkreis. Die Transistoren werden immer kleiner und schalten schneller. Die Geschwindigkeit, mit der die Signale durch den Schaltkreis sausen, wird jedoch durch das Verdrahtungssystem mit seinen Leitbahnen begrenzt. Die Forscher am ENAS entwickeln daher gemeinsam mit den Kollegen von AMD, Infineon und Qimonda zum einen neue Materialsysteme, die diese Signale schneller weiterleiten können und zum anderen Modelle und Simulationsprogramme für Prozesse und Leitbahnen.
Die Forschung in den Chemnitzer Laboren ist sehr erfolgreich: 1998 wurde die Abteilung "Micro Devices and Equipment" unter Leitung von Prof. Geßner eröffnet, mit einem einzigen Wissenschaftler. Anfang 2006 mauserte sich diese Abteilung zu einem eigenständigen Institutsteil des IZM, und wird am 1. Juli 2008 eine selbständige
Fraunhofer-Einrichtung, die mittlerweile 80 Mitarbeiter umfasst. Ein Beispiel für die erfolgreiche Forschung im Chemnitzer Institutsteil ist das Fabry-Perot-Interferometer, das die Fraunhofer-Wissenschaftler gemeinsam mit ihren Kollegen der InfraTec Dresden und des Zentrums für Mikrotechnologien der TU Chemnitz entwickelt haben. Auf der Messe "Sensor und Test" im Mai 2008 erhielten die Wissenschaftler dafür den Innovationspreis des Fachverbandes für Sensorik AMA. Die Anwendungen sind vielfältig: Sie reichen von der Umwelt- über die Sicherheits- bis hin zur Medizintechnik. Das entwickelte System basiert auf der Infrarot-Sensorik, mit der sich Gase und Flüssigkeiten analysieren lassen und einem speziellen Fabry-Perot-Filter. Mit dem neuen Spektrometer konnten die Forscher ein leistungsfähiges Modul mit guter spektraler Auflösung und hoher optischer Qualität realisieren.
Weitere Informationen:
http://www.fraunhofer.de/presse/presseinformationen/2008/06/Presseinformation3062008.jsp Ansprechpartner
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